洁净棚(又称简易无尘室),是一种可提供局部高洁净环境的工作空间。洁净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、高效空气过滤器、灯具等组成,具备多种洁净等级及空间搭配,可针对在一般等级的洁净室中局部地区需要高洁净度的地方做局部增设以降低成本。
目前的洁净棚结构为:顶部安装空气过滤器用于向下送洁净空气,四周设置防静电围帘,将棚内空气与棚外空气隔离开来,从而在棚内形成独立的洁净空间。这种结构的洁净棚,各围帘之间相互分离,存在大量间隙,洁净棚内部与外部的隔离性差,洁净棚内部的空气容易受到外界空气影响,降低洁净棚内部空气的洁净度,且围帘通过螺栓固定在洁净棚的框架上,安装和拆卸都比较麻烦。
洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系,净化空调系统既要服从建筑总体布局,建筑布局也要符合净化空调系统的原则,才能充分发挥相关功能的作用。净化空调的设计者不仅要了解建筑布局以考虑系统的布置,而且要给建筑布局提出要求,使其符合洁净室原理。
洁净室的平面布局
洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。
洁净室的平面布置可以有以下几种方式:
外廊环绕式:外廊可以有窗和无窗,兼作参观和放置一些设备用,有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。
内廊式:洁净室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别一般都较高,甚至和洁净室同级。
两端式:洁净区设在一边,另一边设准洁净和辅助用房。
核心式:为了节约用地、缩短管线,可以洁净区为核心,上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来,这种方式避开室外气候对洁净区的影响,减少了冷热能耗,利于节能。
般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,武汉实验室家具,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
风机从FFU顶部将空气吸入,经初效过滤器,高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速匀速送出到洁净棚内。形成均风速和气生影响。流层,使洁净空气气流呈垂直单向流,从而保证了工作区内所要求的洁净度。
为避免这些因素对净化棚的风速和气生过大的影响,要注意操作人员的操作规程,将风速控制在一个合理的范围内。
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