洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，gmp洁净车间施工，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
无尘车间设计要点：
1、风管设计
在无尘车间工程中，净化空调系统对风管设计的要求是，既有效地送风回风，又要达到合理的经济效果。前者要求风管阻力小、严密性好，不漏气，不发尘，不积尘，不污染，可耐火、耐腐蚀、耐潮湿，又同时选择合适的材料进行风管铺设，主风管支风管的选材规格应有所区别。
2、电话和火警设备
在洁净厂房设置的电话采用对讲面板设计，既满足净化环境的要求，也可以减少人员在洁净区走动，减少发尘量，也可在万一发生火灾时及时与外部联系，也为正常工作联系创造条件。此外，无尘净化车间还应设置火灾报警系统，防止火情不易被外部发现而造成重大经济损失。
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