非工作时间采用值班风机运行,关闭系统中的送回风机。非工作时间,送风机、回风机均停止运行,为了使系统停止运行后,无尘厂房净化设计,避免室外污染空气通过安徽车间净化的围护结构缝隙和由新风口经回风道进入安徽车间净化,破坏室内的洁净度而设置值班风机;值班风机的风量一般是按维持室内要求的正压值所需的换气次数来考虑的,无尘厂房净化安装工程,值班风机运行中所消耗的电能和处理空气所消耗的冷、热量要比系统运行时小得多,贡山无尘厂房净化,设有值班风机的净化空调系统在非工作时,尽量使用值班风机运行,以达到更好的节能效果。
第1种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。
卫生管理系统
1、为了防止交叉污染,清扫净化车间设施的工具均应按产品特点、工艺要求、空气洁净度级别的不同分别专用,垃圾装入防尘袋中拿出。
2、GMP车间的清扫必须在上下班前、生产工艺操作结束后进行,并且要在净化车间空调系统运行中进行,无尘厂房净化施工,清扫工作结束后,净化空调系统要继续运行,直到恢复规定的洁净级别为止,开机运行时间一般不短于该GMP车间的自净时间。
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